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VAT板閥10846-CE01 技術(shù)參數(shù)

更新時間:2024-05-09   點(diǎn)擊次數(shù):131次

用于半導(dǎo)體制造中的控制和隔離的增值稅真空閥組合總是根據(jù)特殊要求量身定制。根據(jù)要求和應(yīng)用領(lǐng)域的不同,所使用的各個系列和閥門技術(shù)的性能參數(shù)始終適用于每種情況下的特定客戶需求。關(guān)鍵功能包括可調(diào)節(jié)的開啟和關(guān)閉周期、穩(wěn)定的自適應(yīng)密封、允許高精度控制的先進(jìn)控制器技術(shù)、顆粒激活和防釋放,以及確保制造的每個閥門都有明確、穩(wěn)定的性能參數(shù)的高制造質(zhì)量。

要了解更多關(guān)于增值稅真空閥解決方案如何解決控制和隔離難題的信息,請從下面列出的系列中進(jìn)行選擇。所有條件下的可靠隔離
10.8特高壓閘閥系列采用VATROCK技術(shù),該技術(shù)是專門為提供可靠的密封而開發(fā)的,在閘門密封處沒有任何摩擦。VATROCK機(jī)構(gòu)還可防止由于關(guān)閉端位置的機(jī)械鎖定而導(dǎo)致的閥門故障。

10.8系列已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)千個苛刻的應(yīng)用中,證明了其 的可靠性。從DN 63起,它已成為超高壓隔離的標(biāo)準(zhǔn)?–?320毫米(2.5英寸?–?12.5").
憑借其堅(jiān)固、無潤滑劑的設(shè)計(jì)和高達(dá)250°C的烘烤能力,它滿足了工業(yè)和研究應(yīng)用的最高真空要求。

該系列提供了各種驅(qū)動和法蘭連接設(shè)計(jì)選項(xiàng),因此可以輕松集成到任何特高壓系統(tǒng)中。廣泛的特殊選擇,如窗戶、端口和替代密封材料,確保最佳適合應(yīng)用。
所有條件下的可靠隔離
10.8特高壓閘閥系列采用VATROCK技術(shù),該技術(shù)是專門為提供可靠的密封而開發(fā)的,在閘門密封處沒有任何摩擦。VATROCK機(jī)構(gòu)還可防止由于關(guān)閉端位置的機(jī)械鎖定而導(dǎo)致的閥門故障。

10.8系列已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)千個苛刻的應(yīng)用中,證明了其 的可靠性。從DN 63起,它已成為超高壓隔離的標(biāo)準(zhǔn)?–?320毫米(2.5英寸?–?12.5").
憑借其堅(jiān)固、無潤滑劑的設(shè)計(jì)和高達(dá)250°C的烘烤能力,它滿足了工業(yè)和研究應(yīng)用的最高真空要求。

該系列提供了各種驅(qū)動和法蘭連接設(shè)計(jì)選項(xiàng),因此可以輕松集成到任何特高壓系統(tǒng)中。廣泛的特殊選擇,如窗戶、端口和替代密封材料,確保最佳適合應(yīng)用。
拼音對照




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